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薄膜電容式濕度計(jì)結(jié)構(gòu)與測(cè)量原理
原理是使用沉積在兩個(gè)導(dǎo)電電極上的聚胺鹽或醋酸纖維聚合物薄膜。當(dāng)薄膜吸水或失水后，會(huì)改變兩個(gè)電極間的介電常數(shù)。目前還有一種技術(shù)是使用耐高溫的熱固性聚合物，可使得這類傳感器在高于100℃的情況下進(jìn)行連續(xù)測(cè)量。
目前采用高分子薄膜的就是維薩拉品牌
1.基體，一般為玻璃，主要作用是支撐傳感器的其它部分。
2.電極中的一個(gè)，由導(dǎo)電材料做成。
3.薄膜層，是傳感器的心臟，薄膜吸水的數(shù)量與周圍環(huán)境的相對(duì)濕度有關(guān)。這層膜的厚度一般為1~10(μm)。
4.上部電極，對(duì)于傳感器的性能同樣起著重要作用。為了得到快速響應(yīng)，必須有較高的水的滲透性。同時(shí)也是導(dǎo)電性材料。
5.上部電極的接觸墊，由于對(duì)上部電極的設(shè)計(jì)有較多的限制條件，因此為了接觸良好，需加上一塊單獨(dú)的金屬。
薄膜電容式濕度計(jì)應(yīng)用范圍
電容式濕度計(jì)測(cè)量范圍較廣，從-50℃~100℃露點(diǎn)。可用于較廣的溫度范圍內(nèi)，有時(shí)不需要溫度補(bǔ)償。耐高溫的熱固性樹(shù)脂允許這類電容式濕度傳感器可以在溫度185℃下進(jìn)行連續(xù)測(cè)量，使用溫度取決于傳感器的包裝材料。對(duì)于熱固性樹(shù)脂的傳感器來(lái)說(shuō)，其另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是在-50℃~100℃溫度范圍內(nèi)，溫度系數(shù)較小，因此可以很容易地在很寬的范圍內(nèi)達(dá)到準(zhǔn)確測(cè)量。
所有的相對(duì)濕度傳感器都對(duì)溫度敏感，假如在一個(gè)溫度下進(jìn)行校準(zhǔn)，在另外溫度下使用時(shí)會(huì)帶來(lái)誤差。聚合物傳感器的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)就是它們對(duì)溫度的依賴性較小，即溫度系數(shù)較小。因此當(dāng)使用溫度與校準(zhǔn)溫度不同時(shí)，其誤差較小。如果在極限溫度下使用，或?qū)?zhǔn)確度要求較高，則需進(jìn)行電子溫度補(bǔ)償。當(dāng)溫度跨度小于50℃時(shí)，進(jìn)行溫度補(bǔ)償較容易。當(dāng)溫度范圍再寬時(shí)，進(jìn)行溫度補(bǔ)償則有些困難。但是現(xiàn)代的聚合物傳感器可以在很窄的范圍內(nèi)準(zhǔn)確度達(dá)到±1%RH，在很寬的溫度和濕度范圍內(nèi)可以達(dá)到±3%RH。使用一段時(shí)間后，或被污染后，需進(jìn)行重新校準(zhǔn)。
薄膜電容式濕度計(jì)優(yōu)缺點(diǎn)
優(yōu)點(diǎn)：響應(yīng)快，溫度及濕度測(cè)量范圍寬，線性好，幾乎沒(méi)有滯后，穩(wěn)定性及重復(fù)性較好，溫度系數(shù)低，成本低。
缺點(diǎn)：基本無(wú)。
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